Введение
Глава 1 Обзор экспериментальных и теоретических работ по исследованию ростовых дефектов в кремнии 9
1.1 Методы получения бездислокационных монокристаллов кремния 9
1.2 Классификация ростовых микродефектов в кремнии 13
1.3 Собственные точечные дефекты в кремнии 20
1.4 Развитие представлений о природе образования микродефектов в кремнии 25
1.5 Обзор методов численного моделирования образования микродефектов в кремнии 31
1.6 Выводы к главе 1 37
Глава 2 Модель расчета динамики собственных точечных дефектов в монокристаллах кремния 38
2.1 Модель 38
2.2 Методика обработки результатов решения тепловой задачи 42
2.3 Особенности численного решения задачи 47
2.4 Результаты расчетов 54
2.4.1 Влияние условий роста кристалла и модельных параметров на результаты расчета 54
2.4.2 Расчет пространственного распределения микродефектов в монокристаллах кремния, выращиваемых методом Чохральского 66
2.4.3 Расчет пространственного распределения микродефектов в монокристаллах кремния, выращиваемых методом пьедестала 77
2.5 Методика моделирования переходных условий выращивания кристаллов 86
2.6 Выводы к главе 2 93
Глава 3 Модель с расчетным определением концентрации собственных точечных дефектов вблизи фронта кристаллизации 96
3.1 Постановка задачи 96
3.2 Верификация вычислительного алгоритма на примере расчета полей концентрации собственных точечных дефектов 98
3.3 Выбор расчетных параметров 101
3.4 Расчет пространственного распределения микродефектов в реальных кристаллах 120
3.5 Модель с одинаковой подвижностью собственных междоузельных атомов и вакансий при температуре плавления кремния 126
3.6 Выводы к главе 3 128
Заключение 131
Условные обозначения 133
Список литературы 135
