Введение
ГЛАВА I. Состояние исследований электронных процессов в мдо-структурах. 10
I.I. Общие закономерности протекания тока в аморфном диэлектрике МДП-структуры... 10
1.2. Нестабильность электрофизических характеристик МДП-структур 20
ГЛАВА II. Переходные процессы при инжекции зардца в широкозонный аморфный диэлектрик мдп-структур и их связь с нестабильностью характеристик элементов памяти 30
2.1. Особенности электронных процессов при инжекции заряда в широкозонный аморфный диэлектрик ВДП-структур 30
2.2. Переходные процессы в МДП-структурах при знакопеременной инжекции носителей заряда из полупроводника 37
2.3. Переходные процессы при двухполярной ин жекции зарядов в широкозонный диэлектрик с большим числом центров захвата 51
ГЛАВА Ш. Перенос зардца в аморфных диэлектриках на постоянном токе 71
3.1. Температурная зависимость энергии акти вации проводимости аморфных диэлектри ческих материалов 71
3.2. Проводимость аморфных полупроводников Ах В;~х с потенциальными флуктуациями краев зон подвижности 79
3.3. Теория переноса заряда в сильных электри ческих полях, основанная на изменении уровней энергии локализованных состояний в щели подвижности 94
А. Перестройка энергетического распределения локализованных состояний в щели подвижности во внешнем электрическом поле 98
Б. Перенос заряда по зоне подвижности аморфного полупроводника в сильных электрических полях 104
3.4. Анализ экспериментальных данных по переносу заряда в аморфном нитриде кремния в сильных электрических полях НО
ГЛАВА ІУ. Исследование релаксации заряда захваченного в диэлектрике структуры при многократных переключениях 121
4.1. Туннельная релаксация заряда в ОДЩ-структуpax с учетом скомпенсированного заряда в объеме диэлектрика 121
4.2. Перенос заряда в диэлектрике в электрических полях, созданных захваченным зарядом в ЩЩ-структуре 131
4.3. Влияние фотовозбуждения на процесс релаксации заряда, захваченного в аморфном нитриде кремния 140
4.4. Влияние толщины аморфного нитрида кремния на время хранения заряда в дегради рованных МНОП-элементах памяти 147
Приложение А. Программа FTT .FTA/ для исследования переходных процессов в МДП-струк-турах 155
Приложение Б. Программа COM. F ТА/ для исследования стационарной проводимости МДП-структур 158
Заключение 160
Литература
