Получение и исследование свойств наноразмерных пленочных структур на основе аморфного кремния и его соединений
Нефедов Денис Владимирович. Получение и исследование свойств наноразмерных пленочных структур на основе аморфного кремния и его соединений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Нефедов Денис Владимирович; [Место защиты: Сарат. гос. техн. ун-т].- Саратов, 2008.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/123
