Введение
ГЛАВА 1. Анализ современного состояния чувствительных элементов датчиков давления на основе структур «кремний на сапфире». 11
1.1. Обзор конструкции чувствительных элементов датчиков давления на основе КНС. 11
1.2. Технология формирования структур КНС 19
1.3. Лазерные технологии в производстве чувствительных элементов датчиков давления
1.3.1. Лазерный отжиг 25
1.3.2. Лазерная резка
1.4. Экспериментальные методы, используемые для исследования свойств структуры КНС 39
1.5. Анализ моделей технологических процессов лазерной обработки структур КНС. 43
1.6. Выводы по главе 1. 47
ГЛАВА 2. Моделирование процессов лазерной обработки структур кнс для изготовления чувствительных элементов датчиков давления . 49
2.1. Моделирование лазерного отжига структуры КНС для изготовления чувствительных элементов датчиков давления. 52
2.2. Моделирование лазерного управляемого термораскалывания пластин сапфира для изготовления чувствительных элементов датчиков давления 61
2.3. Выводы по главе 2. 66
ГЛАВА 3. Экспериментальные исследования процессов лазерной обработки структур КНС 67
3.1. Влияние оптических и теплофизических свойств сапфира на выбор параметров технологического процесса лазерной обработке. 67
3.2. Исследование температурных полей пластин диэлектрика при лазерной обработки. 3.2.1. Исследование процесса лазерной обработки структуры КНС. 70
3.2.2. Исследование температурных полей и внутренних напряжений в пластине сапфира при лазерной обработке
3.3. Влияние лазерной обработки на свойства пленок аморфного кремния 77
3.4. Морфология поверхности и электропроводность пленки кремния после лазерной обработки. 80
3.5. Исследование лазерного термораскалывания пластин сапфира 84
3.6. Выводы по главе 3. 88
ГЛАВА 4. Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур КНС 89
4.1. Разработка конструкции мембраны датчика давления 89
4.2. Разработка конструкции датчика давления на основе КНС. 97
4.3. Разработка технологического маршрута изготовления чувствительных элементов датчиков давления на основе КНС . 98
4.4. Расчет чувствительности датчика давления на основе КНС 100
4.5. Сравнительный анализ полученного датчика давления с его аналогами 104
4.6. Выводы по главе 4 108
Заключение 109
Список использованных источников
