Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы
Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Мьо Хейн Зо; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 169 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/1173