Разработка травильных композиций и технологических процессов формирования полированных поверхностей подкладок арсенида и антимонида индия для устройств ИЧ-техники
Даниленко, Светлана Григорьевна. Разработка травильных композиций и технологических процессов формирования полированных поверхностей подкладок арсенида и антимонида индия для устройств ИЧ-техники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Киев, 2000.- 17 с.: ил.