Введение
ГЛАВА I. Эффект неравновесного обеднения (обзор литературы) 13
1.1. Сущность явления неравновесного обеднения. 13
1.2. Релаксация неравновесного обеднения при умеренных электрических полях 15
1.2.1. Большая плотность ПЗС 15
1.2.2. Малая плотность ПЭС 23
1.3. Термополевые процессы ускорения релаксации
при больших электрических полях 34
Выводы к главе 1 47
ГЛАВА II. Релаксация неравновесного обеднения на реальной и термически окисленной поверхности кремния 48
2.1. Введение 48
2.2. Методика исследований 50
2.3. Релаксация неравновесного обеднения на реальной поверхности кремния р-типа 56
2.3.1. Релаксация в начальный момент неравновесного обеднения 56
2.3.2. Релаксация, обусловленная туннельно-акти-вационными процессами 64
2.4. Релаксация неравновесного обеднения на
реальной поверхности кремния п-типа........ 72
2.5. Релаксация неравновесного обеднения на
термически окисленной поверхности кремния N-типа 77
2.6. Анализ релаксации неравновесного обеднения стр. при больших электрических полях на атомарно-чистой поверхности кремния 81
2.7. Выводы к главе II 85
ГЛАВА III. Релаксация неравновесного обеднения на легированной металлами поверхности кремния... 87
3.1. Введение 87
3.2. Методика легирования поверхности кремния металлами 89
3.3. Релаксация неравновесного обеднения на поверхности кремния, легированной золотом.... 90
3.4. Релаксация неравновесного обеднения на легированной цинком поверхности кремния.... 101
3.4.1. Поверхность, легированная по способу JPI.. 102
3.4.2. Поверхность, легированная по способу №2.. ПО
3.5. Выводы к главе III ИЗ
ГЛАВА ІV. Релаксация неравновесного обеднения на кремниевых ВДІ-структурах.^ 116
4.1. Введение 116
4.2. Методика исследований 118
4.3. Технология изготовления исследуемых ВДП-структур 121
4.4. Релаксация неравновесного обеднения на ЩЩ-структурах, изготовленных с применением хлорной технологии 123
4.5. Релаксация неравновесного обеднения на ВДП-структурах, полученных окислением в сухом кислороде 129
4.6. Релаксация неравновесного обеднения на стр. ВДП-структурах, облученных У- радиацией 134
4.7. Способ подавления релаксации емкости кремниевых ВДП-структур 139
4.7.1. Экспериментальные результаты 141
4.7.2. Природа процессов, приводящих к подавлению релаксации неравновесной емкости
4.8. Выводы к главе ІУ 150
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ 152
ЛИТЕРАТУРА 156
