Введение
Глава 1. Обзор публикаций 16
1.1. Системы измерения температуры с датчиками на ПАВ 11
1.2. Методы и устройства опроса датчиков на ПАВ 20
1.3. Конструкция чувствительных элементов на ПАВ 26
1.4. Материалы для чувствительных элементов на ПАВ 28
1.5. Примеры конструкции антенн датчиков на ПАВ 32
1.6. Применения датчиков 34
1.7. Выводы по главе 1 35
Глава 2. Согласование резонатора на пав с радиотехническим трактом при импульсном опросе датчика 38
2.1. Методы расчета энергии переизлученного сигнала 38
2.2. Зависимость накопленной энергии от параметров радиотехнического тракта и резонатора 44
2.3. Зависимость энергии излученного датчиком сигнала от параметров радиотехнического тракта и резонатора 52
2.4. Зависимость эффективности переизлучения энергии от параметров радиотехнического тракта и резонатора 58
2.5. Сравнение результатов приближенного расчета и численного расчета 64
2.6. Выводы по главе 2 68
Глава 3. Выбор пьезоэлектрической подложки для датчика температуры 71
3.1. Связь параметров резонаторов на ПАВ с характеристиками ПАВ 71
3.2. Исследуемые подложки и типы волн 76
3.3. Параметры ПАВ на подложках из кварца
3.3.1. Результаты расчета параметров ПАВ на подложках из кварца 78
3.3.2. Подложки из кварца с максимальным и минимальным ТКЗ 80
3.3.3. Области ориентации подложек из кварца с благоприятным сочетанием значений ТКЗ и КЭМС 83
3.3.4. Срезы кварца для использования единой подложки для пары резонаторов 84
3.3.5. Зависимость максимального, минимального ТКЗ и их разницы от требуемого значения КЭМС на подложках из кварца 86
3.4. Параметры ПАВ на подложках из лангасита 89
3.4.1. Результаты расчета параметров ПАВ на подложках из лангасита 89
3.4.2. Подложки из лангасита с максимальным и минимальным ТКЗ 91
3.4.3. Области ориентации подложек из лангасита с благоприятным сочетанием значений ТКЗ и КЭМС 94
3.4.4. Срезы лангасита для использования единой подложки для пары резонаторов 94
3.4.5. Зависимость максимального, минимального ТКЗ и их разницы от требуемого значения КЭМС на подложках из лангасита 95
3.5. Параметры ПАВ на подложках из танталата лития 98
3.5.1. Результаты расчета параметров ПАВ на подложках из танталата лития 98
3.5.2. Области ориентации подложек из танталата лития с благоприятным сочетанием значений ТКЗ и КЭМС 100
3.5.3. Срезы танталата лития для использования единой подложки для пары резонаторов 100
3.5.4. Зависимость максимального, минимального ТКЗ и их разницы от требуемого значения КЭМС на подложках из танталата лития 101
3.6. Параметры ПАВ на подложках из ниобата лития 103
3.6.1. Результаты расчета параметров ПАВ на подложках из ниобата лития 103
3.6.2. Области ориентации подложек из ниобата лития с благоприятным сочетанием значений ТКЗ и КЭМС 105
3.6.3. Срезы ниобата лития для использования единой подложки для пары резонаторов 106
3.6.4. Зависимость максимального, минимального ТКЗ и их разницы от требуемого значения КЭМС на подложках из ниобата лития 107
3.7. Сравнительный анализ различных материалов подложки 109
3.7.1. Зависимость максимальной разницы ТКЗ пары ПАВ на единой подложке от требуемого значения КЭМС 109
3.7.2. Зависимость максимальной разницы ТКЗ пары ПАВ на разных подложках от требуемого значения КЭМС 111
3.8. Выводы по главе 3 115
Глава 4. Экспериментальное исследование резонаторов на пав на подложках из кварца и лангасита 118
4.1. Ориентация подложек из кварца и конструкции резонаторов 118
4.2. Результаты измерения характеристик резонаторов на 70Y-срезе кварца 121
4.3. Результаты измерения характеристик резонаторов на других срезах кварца 125
4.4. Сравнительный анализ экспериментальных и расчетных значений ТКЧ 130
4.5. Добротность и коэффициент связи экспериментально исследованных резонаторов .133
4.6. Варьирование направления распространения квази-рэлеевской ПАВ на 70Y-срезе кварца 136
4.7. Резонаторы на подложках из лангасита для высокотемпературных датчиков 138
4.8. Выводы по главе 4 142
Заключение 145
Публикации автора по теме диссертации 150
Список литературы
