Введение
Глава 1. Быстрые термические процессы газофазной эпитаксии. Обзор. Существующие решения 8
1.1. История исследования полупроводниковых структур 8
1.2. Обзор эпитаксиального оборудования 16
1.3. Математическая модель быстрых термических процессов . 25
1.4. Обзор методов управления нелинейными системами 31
1.5. Выводы 35
Глава 2. Идентификация параметров математической модели быстрых термических процессов 36
2.1. Введение 36
2.2. Иллюстративная модель 39
2.3. Идентификация с использованием метода наименьших квадратов 41
2.3.1. Оценка скорости во временной области 43
2.3.2. Оценка скорости в частотной области 46
2.4. Идентификация методом минимизации ошибки предсказания . 48
2.5. Выводы 51
Глава 3. Синтез закона управления 53
3.1. Метод последовательного компенсатора 53
3.2. Управление по выходу нелинейными системами 58
3.3. Управление в условиях внешних возмущений и запаздывания . 66
3.4. Управление объектом с полиномиальной нелинейностью . 77
3.4.1. Модель в отклонениях для быстрых термических процессов 77
3.4.2. Закон управления для систем с полиномиальной нелинейностью 77
3.5. Выводы 84
Глава 4. Регулирование температуры на экспериментальной установке газофазной эпитаксии 85
4.1. Описание установки 85
4.2. Идентификация параметров математической модели экспериментальной установки 89
4.3. Моделирование системы управления температурой 95
4.4. Экспериментальные результаты системы управления температурой 103
4.5. Выводы 120
Заключение 121
Литература
