Система обеспечение качества полупроводниковых материалов для приборов и устройств квантовой и оптоэлектроники на основе Cals-технологий
Каневский, Владимир Евгеньевич. Система обеспечение качества полупроводниковых материалов для приборов и устройств квантовой и оптоэлектроники на основе Cals-технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.23 / Каневский Владимир Евгеньевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2010.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/186
