1. Поверхностные фазы в системах In/Si, Sb/Si и (In+Sb)/Si 10
1.1, Поверхностные фазы и двумерная кристаллография 11
1.2, Поверхностные фазы чистой поверхности кремния 13
1.2.1. Si(001)2xl 13
1.2.2. Si(lll)7x7 16
1.3. Поверхностные фазы In на кремнии 18
1.3.1. Si(001)4x3-ln 18
1.3.2. Si(lll)V3xV3-R30-In 20
1.3.3. Si(lll)4xl-ln 22
1.4, Поверхностные фазы Sb на кремнии 24
1.4.1. Si(001)2xl-Sb 24
1.4.2. Si(lll)2xl-Sb 26
1.4.3. Si(lllW3xV3-R30-Sb 28
1.5. Поверхностные фазы InSb(lll)A,B-2x2 30
1.6. Эпитаксиальный рост InSb и соадсорбция In и Sb на кремнии 32
2. Методы исследования и подготовка экспериментов 36
2.1. Экспериментальная установка 36
2.2. Методы исследования 39
2.2.1. Дифракция быстрых электронов 39
2.2.2. Электронная Оже спектроскопия 44
2,2.3. Сканирующая туннельная микроскопия 46
2.3. Подготовка образцов 50
2.4. Методика изготовления игл для СТМ экспериментов 51
3. Соадсорбцня In и Sb на кремний ориентации (001) 55
3.1, Эволюция поверхности во время адсорбции Sb на4хЗ-1п 55
3.2. Формирование поверхностной фазы Si(001)8x2-Sb 68
3.3- Обсуждение структуры и процесса формирования поверхностной
4.1. Адсорбция Sb на поверхностную фазу Si(lll)4xl-In 91
4.2. Формирование сверхтонкой пленки InSb на Si(l 11) 106
4.3. Адсорбция Sb на поверхностную фазу V3xV3-In в субмонослойном интервале покрытий Sb 112
4.4. Адсорбция Sb на поверхностную фазу Л/ЗХ^З-ІП в сверхмонослойном интервале покрытий Sb 129 Выводы 147
Заключение 148
Библиография 150
