Введение
1. Металлооксидные газочувствительные сенсоры 9
1.1. Газовые сенсоры на основе диоксида олова 10
1.1.1. Методы изготовления тонких металлооксидных пленок 10
1.1.2. Диоксид олова, как материал для газочувствительных сенсоров 11
1.1.3. Модель электропроводности пленок SnOx 13
1.1.4. Принцип работы газовых сенсоров на основе Sn02-x 16
1.1.5. Изменение структуры поликристаллических пленок в процессе: отжига 23
1.2. Легирование диоксида олова 26
1.3. Влияние каталитических добавок на свойства сенсоров 29
1.4. Влияние влажности на свойства сенсоров 37
1.5. Матрица газовых сенсоров 40 В ыводы по первому разделу 45
2. Исследование параметров газовых сенсоров на основе диоксида олова с различными добавками 47
2.1. Конструкция и технология изготовления газочувствительных сенсоров 48
2.2. Формирование и стабилизация свойств пленок температурными отжигами 62
2.3. Газочувствительные свойства сенсоров 77
2.3.1. Установка для исследования
газочувствительных свойств сенсоров 78
2.3.2. Исследование газочувствительных свойств сенсоров с различными пленками 80
2.3,3. Исследование влияния продолжительной термообработки на газочувствительные свойства сенсоров с различными добавками 93
2,4. Обсуждение результатов 100
Выводы по второму разделу 104
3. Матрица газовых сенсоров 106
3.1. Установка матричного газового анализатора для реализации проекта "Электронный нос" 107
3.1.1. Блок ручного управления температурой нагревателей 108
3.1.2 Камера газового анализа 108
3.1.3. Блок ручного измерения 110
3.1.4. Описание интерфейсной платы сбора данных L-305 110
3.2. Методика исследования газовой чувствительности 111
3.3 Результаты исследования параметров матрицы сенсоров 112
3.3.1. Исследование стабильности сопротивления матрицы газовых сенсоров 120
3.3.2. Исследование стабильности чувствительности ф матрицы сенсоров 121
3.3.3. Исследование зависимости чувствительности матрицы сенсоров от дозы вводимого вещества 124
3.4. Исследование влияния условий окружающей среды на свойства сенсоров 127
3.5. Обсуждение результатов 132
Выводы по третьему разделу 134
Основные результаты и выводы 135
Список используемой литературы
