Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами
Орлов Олег Михайлович. Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Москва, 2005 246 с. РГБ ОД, 61:05-5/4161