Введение
Глава I. Электроотраление в полупроводниках
1.1 Зонная структура полупроводников
1.2 Электрооптические эффекты в полупроводниках
1.3 Модуляционные методики и использование электроотражения для определения параметров зонной структуры
1.4 Влияние структурного совершенства кристаллов на спектры электроотражения
1.5 Внутренние напряжения в гетероэпитак-сиальных системах и их влияние на энергетический спектр
1.6 Релаксация внутренних напряжений в гете-роэпитаксиальных системах
Глава 2. Методика эксперимента и обработки результатов
2.1 Методика экспериментальных исследований спектров электроотражения и кривизны гетеросистем 52
2.2 . Обработка спектров электроотражения 61
Глава 3. Исследование состава, однородности и степени структурного совершенства пленок твердых растворов
3.1 Определение состава монокристаллов твердых растворов методом электроотражения 66
3.2 Влияние внутренних механических напряжений на спектры электроотражения гетеросис-тем 70
3.3 Определение состава гетероэпитаксиальных пленок и однородности его распределения 78
3.4 Использование электроотражения для контроля состава твердых растворов 83
3.5 Влияние структурного совершенства пленок на спектры электроотражения 84
Выводы 95
Глава 4. Влияние внешних воздействий на спектры электроотражения пленок
4.1 Влияние ионной импланктации и отжига на спектры электроотражения пленок 97
4.2 Влияйте у- облучения на спектры электроотражения 104
Выводы 111
Заключение 112
Литература 115
