Введение
1 Микроэлектронные оав-резонаторы и полосовые фильтры на их основе 12
1.1 Конструкции и технология изготовления микроэлектронных ОАВ-резонаторов 12
1.2 Сравнительный анализ характеристик микроэлектронных ОАВ-резонаторов 18
1.3 Конструкция микроэлектронного ОАВ-резонатора с брэгговским отражателем 20
1.4 Материалы, используемые в микроэлектронных ОАВ-резонаторах с брэгговским отражателем 22
1.5 Модели микроэлектронных ОАВ-резонаторов с брэгговским отражателем
1.5.1 Одномерная модель Мэзона 27
1.5.2 Модель КЛМ 29
1.5.3 Модель Баттерворта-ван Дейка 30
1.5.4 Одномерная модель Новотного-Бенеша 32
1.6 Полосовые фильтры на микроэлектронных ОАВ-резонаторах 34
1.6.1 Основные типы полосовых фильтров 34
1.6.1.1 Фильтры на электрически связанных резонаторах 36
1.6.1.2 Фильтры на акустически связанных резонаторах 39
1.6.1.3 Гибридные фильтры
1.6.2 Сравнительный анализ полосовых фильтров на ОАВ 43
1.6.3 Требования к микроэлектронным ОАВ-резонаторам, применяемым в фильтрах 46
1.7 Выводы 49
2 Моделирование микроэлектронных оав-резонаторов 50
2.1 Методика расчета параметров микроэлектронного ОАВ-резонатора с брэгговским отражателем 50
2.2 Влияние акустического отражателя на характеристики микроэлектронных ОАВ-резонаторов 55
2.2.1 Влияние высокоимпедансных слоев на акустические свойства
брэгговского отражателя 55
2.2.2 Влияние количества слоев брэгговского отражателя на электрические параметры ОАВ-резонатора 58
2.2.3 Влияние погрешности толщины слоев на характеристики брэгговского отражателя 60
2.2.4 Влияние диэлектрического слоя в брэгговском отражателе на характеристики ОАВ-резонатора 61
2.3 Влияние геометрических размеров электродов на характеристики
микроэлектронного ОАВ-резонатора с брэгговским отражателем 65
2.3.1 Влияние площади верхнего электрода на параметры ОАВ-резонатора 65
2.3.2 Влияние толщины верхнего электрода на параметры ОАВ-резонатора 67
2.4 Выводы 71
3 Разработка конструкции и технологии изготовления микроэлектронных оав-резонаторов 73
3.1 Разработка конструкции микроэлектронного ОАВ-резонатора 73
3.1.1 Конструкция брэгговского отражателя 74
3.1.2 Конструкция пьезоэлектрического преобразователя 75
3.2 Разработка технологии изготовления микроэлектронного ОАВ-резонатора 76
3.2.1 Технологический процесс изготовления тонкопленочных слоев микроэлектронного ОАВ-резонатора 78
3.2.2 Методы исследования тонкопленочных слоев микроэлектронного ОАВ-резонатора 80
3.2.3 Исследование пьезоэлектрических пленок оксида цинка 83
3.2.4 Исследование пленок молибдена 86
3.2.5 Исследование пленок алюминия 97
3.2.6 Исследование пленок диоксида кремния 100
3.2.7 Технологический процесс изготовления микроэлектронного ОАВ-резонатора 101
3.3 Выводы 105
4 Экспериментальное исследование и применение микроэлектронных ОАВ-Резонаторов 106
4.1 Методы исследования электрических параметров ОАВ-резонаторов 106
4.2 Влияние технологических параметров на характеристики микроэлектронных ОАВ-резонаторов 108
4.3 Влияние конструктивных параметров на характеристики ОАВ-резонаторов 109
4.4 Сравнение характеристик разработанных резонаторов с аналогами 112
4.5 Особенности фильтров на микроэлектронных ОАВ-резонаторах
4.5.1 Использование конструктивных параметров ОАВ-резонатора для управления его характеристиками 115
4.5.2 Использование внешних пассивных элементов для управления электрическими характеристиками микроэлектронных ОАВ-резонаторов 118
4.6 Проектирование полосовых фильтров на основе микроэлектронного ОАВ-резонатора 123
4.6.1 Метод топологического проектирования полосовых фильтров на основе микроэлектронных ОАВ-резонаторов 123
4.6.2 Лестничные фильтры на микроэлектронных ОАВ-резонаторах 124
4.7 Конструктивно-технологические решения по изготовлению полосовых фильтров на основе микроэлектронных ОАВ-резонаторов 127
4.8 Выводы 129
Заключение 130
Список сокращений 132
