Введение
Общая характеристика работы 4
1. Многокомпонентные оксидные наноматериалы с фрактальной структурой и адсорбционные сенсоры хеморезистивного типа на их основе 15
1.1 Многокомпонентные золь-гель системы 15
1.2 Применение теории фракталов для описания структуры и свойств многокомпонентных оксидных наноматериалов, синтезируемых золь-гель методом 20
1.3 Высокоэффективные газовые сенсоры с чувствительными элементами на основе многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой 31
1.4 Использование нанотехнологических принципов при производстве датчиков вакуума 38
2. Особенности синтеза и исследования свойств многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой 52
2.1 Методика синтеза многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой для адсорбционных сенсоров хеморезистивного типа 52
2.2 Исследование качественного и количественного состава многокомпонентных пленкообразующих золей методом ИК-спектроскопии 64
2.3 Исследование качественного и количественного состава многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой, отожженных при различной температуре 79
3 Использование многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой в практических приложениях 94
3.1 Исследование процессов самоорганизации, протекающих в пленкообразующих золях, методом ИК-спектроскопии 94
3.2 Многокомпонентные оксидные наноматериалы на основе SiO2-SnO2 для чувствительных элементов датчиков вакуума 110
3.3 Многокомпонентные оксидные наноматериалы на основе SiO2-SnO2 In2O3 и SiO2-SnO2-ZnO для чувствительных элементов датчиков вакуума123
3.4 Анализ влияния направленного легирования многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой на их сенсорные свойства 129
4. Математическое моделирование электрофизических и сенсорных характеристик адсорбционных сенсоров хеморезистивного типа на основе многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой 135
4.1 Динамическая модель сенсорного отклика чувствительных элементов адсорбционных сенсоров хеморезистивного типа к газам-восстановителям и окислителям 135
4.2 Использование математического моделирования поверхностных реакций для разработки высокоселективных адсорбционных сенсоров 148
4.3 Моделирование сенсорного отклика вакуумметров с чувствительными элементами на основе многокомпонентных оксидных наноматериалов с фрактальной структурой 164
Основные результаты работы и выводы 179
Список литературы 182
