Введение
1. Литературный обзор 11
1.1. Общая характеристика оксида цинка 11
1.2. Зонная структура 15
1.3. Основные электрофизические и оптические свойства 17
1.4. Фото- и катодолюминесценция 23
1.5. Методы получения пленок ZnO 26
1.6. Гетероэпитаксия 29
1.7. Зеленая полоса люминесценции пленок и кристаллов ZnO, легированных медью 30
1.8. Пленки ZnO, легированные и солегированные азотом 34
1.9. P-N гетеропереходы на основе ZnO 37
2. Методика эксперимента 45
2.1. Особенности электронного возбуждения 45
2.2. Описание экспериментальной установки 52
2.3. Метод газофазной эпитаксии для выращивания эпитаксиальных пленок оксида цинка 60
2.4. Получение поли кристаллических пленок ZnO методом окисления металлических слоев цинка 60
2.5. Подготовка образцов для исследований 61
3. Катодолюминесценция пленок оксида цинка, полученных разными методоами 66
3.1. Катодолюминесценция поликристаллических пленок ZnO, полученных термическим окислением металлических слоев цинка 66
3.2. Катодолюминесценция гетероэпитаксиальных структур ZnO/GaN/a-АЬОз, полученных методом химического транспорта 76
6. Свойства эпитаксиальных пленок оксида цинка, легированных разными примесями 84
4.1. Пленки оксида цинка, легированные медью путем термической диффузии 84
4.2. Пленки оксида цинка, легированные галлием в процессе роста и имплантированные азотом 91
4.3. Структуры металл-диэлектрик-полупроводник 96
5. Электрические и люминесцентные свойства p-n гетероперходов на основе ZnO 100
5.1. Гетеропереходы типа n-ZnO/p-GaN 100
5.2. Гетеропереходы типа n-ZnO/p-Alo.nGao.ggN 107
Выводы 115
